大平臺半導體檢查顯微鏡（芯片/晶圓）

光學系統

無限遠色差校正光學系統

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光學放大倍數

50倍-500倍(可選500/1000倍)

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數碼放大倍數

150倍-1500倍（21.5寸顯示器）

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工業相機

2000萬1寸彩色索尼工業芯片（可選630萬）

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觀察筒

正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

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反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

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目鏡

高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調

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高眼點大視野目鏡SWH10X-H/25mm，視度可調

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物鏡

無限遠半復消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡5X NA0.15 WD14.8mm

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無限遠半復消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡10X NA0.30 WD8.5mm

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無限遠半復消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡20X NA0.45 WD11.9mm

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無限遠半復消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡50X NA0.75 WD3.0mm

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無限遠半復消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡100X NA0.80 WD3.0mm

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無限遠半復消長距明暗場物鏡 45MM可見光金相物鏡100X NA0.90 WD1.0mm

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物鏡轉換器

5孔明暗場手動物鏡轉換器（帶DIC插槽）.

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5孔明暗場電動物鏡轉換器（電動/帶DIC插槽）.

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機架

上光源

反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統，采用數字調光，具有光強設定與復位功能

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載物臺

6英寸平臺，平臺面積 450*240mm，移動行程：158mmX158mm機械平臺，X、Y方向同軸調節；含快速移動裝置

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聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

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干涉片

諾曼爾斯基微分干涉片

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反射照明器

明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，

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燈室

10W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心

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攝像接口

攝影攝像附件：0.65X，C型接口，可調焦（可選0.5X/1X）

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偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板

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電腦

品牌電腦和顯示器

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測量軟件

測量軟件，軟件控制電動物鏡轉盤，拍照，錄像，測量，實時圖像拼接，景深融合

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標尺

高精度型測微尺，格值0.01mm

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