SEM原位冷熱臺的應用背景

SEM:掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope ，縮寫 為SEM），簡稱掃描電鏡，是利用細聚焦電子束在樣品表面掃 描時激發出來的各種物理信號來調制成像的一種常用的顯微分析儀器。

      SEM原位冷熱臺是一種在掃描電子顯微鏡（SEM）標準樣品臺上（無需改造電鏡內部），提供樣品原位變溫測試的電鏡附件。通過外接法蘭裝置實現對冷熱臺上的樣品進行控溫，穩定后溫控精度可達±0.1℃ 可實現樣品變溫測試的溫度范圍：蔡康SEM原位冷熱臺-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃，滿足原位高低溫材料相變微觀表征。SEM原位冷熱臺適合于各種樣品在SEM中進行高低溫結構研究，固定在現有樣品臺上,還可以加上探針構成探針冷熱臺。支持在現有各種掃描電子顯微鏡（日立、國儀量子等）適配。

蔡康SEM原位冷熱臺特點：

（1）通過加熱和制冷可實現快速升降溫
（2）控溫精度高±0.1℃，可程序階梯控溫，溫控范圍寬（-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃）
（3）能在較大的電子束流下獲得高質量圖像
（4）可定制SEM樣品架，使用過程簡單
（5）制冷完成測試后可快速（60℃/min）升溫達到室溫，正常更換樣品，測試效率高。